SIC清洗機(jī)就是碳化硅，目前市場(chǎng)的主流材料。既然如此，大家安排選購(gòu)的時(shí)候，也想要明白一個(gè)重要問題，就是SiC清洗機(jī)到底可以分成多少種類？

目前資料顯示，主要可以根據(jù)處理方式、自動(dòng)化程度、適用規(guī)格以及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等多個(gè)方面進(jìn)行劃分。

按處理方式分類

單片清洗設(shè)備：這種設(shè)備可以針對(duì)單個(gè)晶圓的清洗進(jìn)行條件優(yōu)化，適用于需要精細(xì)清洗或特殊處理的場(chǎng)合。

槽式清洗機(jī)：用于批量處理晶圓，適合大規(guī)模生產(chǎn)，能夠同時(shí)清洗多個(gè)晶圓，提高生產(chǎn)效率。

按自動(dòng)化程度分類

全自動(dòng)SiC清洗機(jī)：具備全自動(dòng)控制功能，通常配備高速機(jī)械手，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)上下料、自動(dòng)配液/補(bǔ)液等功能，大大提高了工作效率和操作的便捷性。

半自動(dòng)SiC清洗機(jī)：部分操作需要人工干預(yù)，但仍然具備較高的自動(dòng)化程度，適合中等規(guī)模的生產(chǎn)線使用。

按適用規(guī)格分類

兼容多種規(guī)格的SiC清洗機(jī)：可兼容不同尺寸的SiC襯底片進(jìn)行清洗，如4寸、6寸、8寸等不同尺寸的晶圓。

特定規(guī)格的SiC清洗機(jī)：針對(duì)某一特定尺寸的SiC襯底片進(jìn)行設(shè)計(jì)和優(yōu)化，以滿足特定生產(chǎn)線的需求。

按結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)分類

緊湊型SiC清洗機(jī)：設(shè)備外觀大氣、結(jié)構(gòu)緊湊，后部設(shè)置排風(fēng)口等設(shè)計(jì)，有利于保證設(shè)備內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定和清潔。

模塊化設(shè)計(jì)SiC清洗機(jī)：軟件客制化、模塊化設(shè)計(jì)，工序可靈活編輯、組合選配，滿足不同客戶的生產(chǎn)需要。